PPT Slide
e + He ? He + e e + NF3 ? NF3 + e
e + He ? He+ + e + e e + NF3 ? e + e + NF+ + F2
e + He ? He + e + hn e + NF3 ? e + e + F+ + NF2
e + He ? He* + e e + N ? N + e
He* + NF3 ? NF3+ + e + He e + N ? N+ + e + e
He+ + NF3 ? NF3+ + He e + F2 ? F2+ + e + e
e + NF3 ? NF3 + e e + F ? F + e
e + NF3 ? e + NF + F2 e + F ? F+ + e + e
e + NF3 ? e + NF2 + F e + F2+ ? F + F
e + NF3 ? NF3+ + e + e e + NF3+ ? NF2 + F
e + NF3 ? e + e + NF2+ + F e + NF2+ ? NF + F
e + NF3 ? NF2 + F- e + NF+ ? N + F
e + NF2 ? NF2 + e e + N2+ ? N + N
e + NF ? NF+ + e + e Surface Reactions
e + F2 ? F2 + e NF3+ ? NF3
e + F2 ? e + F + F NF2+ ? NF2
e + F2 ? F- + F F + F ? F2
NF2+ + F- ? NF + F2 He* ? He
NF3+ + F- ? NF2 + F2 F2+ ? F2
F+ + NF3 ? NF2+ + F + F NF+ ? NF
NF+ + NF3 ? NF2+ + NF + F N+ ? N
F- + N ? NF + e N + N ? N2
F2+ + F- ? F2 + F N + F ? NF
CCP SIMULATION: PLASMATOR Utilize Comprehensive Chemistry Models to Characterize the Equilibrium Electrons
Plasma Reactions (continued)