PPT Slide

ICP SIMULATION: PLASMATOR Utilizes Comprehensive Chemistry Models to Characterize the Equilibrium Electrons

e + Ar ? Ar + e e + SiH4 ? SiH4 + e

e + Ar ? Ar+ + e + e e + SiH4 ? e + SiH3 + H

e + Ar ? Ar + e + hn e + SiH4 ? H + SiH3+ + 2 e

e + Ar ? Ar* + e e + SiH4 ? H2 + SiH2+ + 2 e

e + O2 ? O2 + e e + SiH3 ? SiH3+ + e + e

e + O2 ? O2 + e + hn e + SiH2 ? SiH2+ + e + e

e + O2 ? O2+ + e + e e + SiH ? SiH+ + e + e

e + O2 ? O2* + e e + H2 ? e + H + H

e + O2 ? O2* + e e + SiH3+ ? SiH2 + H

e + O2 ? e + O + O O + SiH4 ? OH + SiH3

e + O2 ? O + O- Si + O2 ? SiO + O

e + O ? O + e O2 + SiH ? SiO + OH

e + O ? O+ + e + e O2+ + SiH4 ? SiH3+ + O2 + H

e + O ? O* + e O2+ + SiH4 ? SiH2+ + O2 + H2

e + O ? O* + e SiH2+ + SiH4 ? SiH3+ + SiH3

e + O2* ? e + O + O O- + SiH3+ ? SiH2 + OH

e + O2* ? O + O-

e + O2* ? O2+ + e + e Surface Reactions

e + O2+ ? O + O Ar+ ? Ar

e + O2+ ? O + O* O+ ? O

Ar* + O2 ? Ar + O + O* O2+ ? O2

Ar+ + O2 ? O2+ + Ar O + O ? O2

O- + O ? O2 + e Ar* ? Ar

O- + O2* ? O3 + e O2* ? O2

O- + O2+ ? O + O2 O* ? O

SiH3+ ? SiH3

SiH2+ ? SiH2

SiH+ ? SiH

H + H ? H2

Plasma Reactions

Plasma Reactions (continued)

Previous slide

Next slide

Back to first slide

View graphic version